10⁻⁶ Pa，8,000小时
真空集群传输机械臂，波纹管联轴器
为国产晶圆集群搬运设备定制焊接 SUS304波纹管联轴器。出货前完成内部真空测试并密封包装，8,000小时耐久运行无泄漏。
标准表面处理
化学镀镍 / 硬质阳极氧化
洁净度处理
真空脱脂，密封袋包装
精度
ISO 1328 5级精度
波纹管联轴器
真空兼容，10⁻⁶ Pa
我们交付什么
用于真空晶圆传输腔体，波纹管真空等级10⁻⁶ Pa
硬质阳极氧化7075铝合金，定制孔径，密封包装
5级精度磨削，化学镀镍，编码器孔同心度控制
不锈钢齿条，用于大气环境 XY 平台
不锈钢 WK 系列，密封包装
晶圆搬运机器人，无论是大气环境还是真空集群环境，都需要极低颗粒污染的传动部件。我们可供应真空保持能力良好的波纹管联轴器、轴承级磨削轴类零件并配化学镀镍表面，以及用于大气平台的硬质阳极氧化铝同步轮。
对于检测设备，例如光刻平台和晶圆检测计量设备，我们可提供5级精度磨齿齿轮，并将孔径与节圆的同心度控制在≤ 0.005 mm，使编码器反馈回路尽量不引入机械噪声。
标准包装流程包括真空脱脂、密封防静电袋包装和批次编码，便于客户来料检验。我们不是 Class-1洁净室工厂，但我们交付的零件可满足客户后续洁净室验收前置要求。
该行业常采购的产品
每张产品卡片均可进入详情页，查看完整能力范围、材料和标准。
工程要求
真空脱脂，防静电袋密封包装，批次编码
不锈钢、硬质阳极氧化铝、化学镀镍，不使用喷漆或油性表面
10⁻⁶ Pa 焊接波纹管联轴器，用于真空集群搬运设备
孔径到节圆同心度≤ 0.005 mm，降低反馈抖动
记录表面状态；可选 ISO 14644兼容包装流程
客户
以下为部分国际知名客户。完整记录保存在我们的出货档案中。
案例
10⁻⁶ Pa，8,000小时
为国产晶圆集群搬运设备定制焊接 SUS304波纹管联轴器。出货前完成内部真空测试并密封包装，8,000小时耐久运行无泄漏。
编码器噪声底 < 0.5角秒
用于晶圆检测旋转平台的5级精度磨削齿轮轴，表面化学镀镍。客户编码器集成后显示机械噪声低于1角秒。
常见问题
不是。沃孚尔不是 Class-1洁净室工厂。我们是 ISO 9001制造商，可交付满足客户后续洁净室验收前置要求的零件，包括真空脱脂、化学镀镍或硬质阳极氧化表面、密封防静电袋包装。
可以。我们可提供焊接 SUS304或 SUS316L 波纹管联轴器，出货前在内部测试至10⁻⁶ Pa，并单独密封包装。
标准包装为真空脱脂 + 密封防静电袋，已足够满足多数半导体 OEM 来料检验需求。ISO 14644兼容包装，例如特定手套和擦拭流程，可按需提供，通常增加约1周交期。